中文字幕乱码亚洲精品一区,久草爱在线视频,中文字幕亚洲乱码熟女在线萌芽,操小女生屄视频在线观看

聯(lián)系方式
聯(lián)系人:黃小姐
聯(lián)系電話:0755-25848978, 83738778
傳真號碼:0755-83738639
公司地址:深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道寶源路深圳市名優(yōu)工業(yè)產(chǎn)品展示采購中心B座1區(qū)五樓508號
Email:sales@sandat.com
郵編:518102
公司網(wǎng)址:http://www.sandat.com
文章詳情

氣體傳感器在半導(dǎo)體制造工業(yè)中的應(yīng)用

日期:2025-07-08 17:15
瀏覽次數(shù):895
摘要: 以硅材料為主體的半導(dǎo)體工業(yè)中,涉及到種類繁多的氣體,實現(xiàn)氣相淀積、離子注入、等離子刻蝕、鈍化保護等工藝過程。 半導(dǎo)體工業(yè)中的**隱患主要是有毒氣體和腐蝕性氣體。其中,毒性較強的氣體包括鍺烷(GeH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)、氫化銻(SbH3)、三氟化磷(PH3)等,毒性較弱但具有刺激性的氣體包括氨氣(NH3)、硅烷(SiH4)、三氟化硼(BF3)、四氟化硫(SF4)等,具有強腐蝕性的氣體包括SiF4、HF等。 其中,用于硅及其化合物氣相淀積*常用的硅烷在室溫下濃度超過1%時在空氣中會發(fā)生自燃,容易引起火災(zāi);而...

以硅材料為主體的半導(dǎo)體工業(yè)中,涉及到種類繁多的氣體,實現(xiàn)氣相淀積、離子注入、等離子刻蝕、鈍化保護等工藝過程。

半導(dǎo)體工業(yè)中的**隱患主要是有毒氣體和腐蝕性氣體。其中,毒性較強的氣體包括鍺烷(GeH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)、氫化銻(SbH3)、三氟化磷(PH3)等,毒性較弱但具有刺激性的氣體包括氨氣(NH3)、硅烷(SiH4)、三氟化硼(BF3)、四氟化硫(SF4)等,具有強腐蝕性的氣體包括SiF4、HF等。

其中,用于硅及其化合物氣相淀積*常用的硅烷在室溫下濃度超過1%時在空氣中會發(fā)生自燃,容易引起火災(zāi);而用于外延、摻雜等工藝的磷烷、砷烷,則具有強烈的血溶性毒性,是和硅烷一起作為半導(dǎo)體工業(yè)中*主要的檢測氣體;在III-V族材料刻蝕中常常用到氯基的氣體,容易引起眼及上呼吸道刺激癥狀,一般報警點在8ppm左右;還有一些氣體,例如SF6,主要用于硅及其化合物的刻蝕,雖然純品無毒,但在高溫電弧作用下會分解成一系列有毒的氣體,包括SF4、S2F2、HF等,因此這些含硫或含氟的有毒氣體也是半導(dǎo)體工業(yè)中重點監(jiān)控的對象。


由于半導(dǎo)體工業(yè)中的危害性氣體種類繁多,每個半導(dǎo)體行業(yè)的工廠都會需要大量的氣體報警儀,目前該領(lǐng)域中應(yīng)用的氣敏元件絕大多數(shù)是電化學(xué)氣體傳感器。


粵公網(wǎng)安備 44030602001744號

亚洲av日韩精品久久久久久a| 99久久精品国产综合精品| 越南少妇水多无码免费看| 久久久久这里只有精品网站| 午夜成人理论福利片| 国产精品久久久久久久上| 国产亚洲欧美日韩精品久久| 久久精品人人做人人爱爱| 国产精品九九色| 日本大香蕉视频一区二区| av天堂精品久久综合网| 国产精品一区二区999| 久久久久国产色| 在线亚洲中文精品第1页| 99九九99在线精品视频| 久久久久久久综合色一本| 在线三级小视频| 亚洲五月综合网色九月色| 日本韩国国产一区二区三区| 西川唯久久久久久久综合| 欧美天堂一区一区二三区| 一道本在线观看免费视频| 香蕉国产人午夜视频在线| 秋霞午夜鲁丝片午夜精品| 国产亚洲aaa在线观看| 天堂а√8在线最新版在线| 99久久国产热无码精品| 亚洲午夜福利在线观看视频| 国产免费午夜a无码v视频| 欧美人妻久久久久久综合| 无码精品色午夜| 国产精品国产三级农村妇女 | 久久精品A国产一级漫画| 中文字幕第一页不卡一区| 国产爽爽久久影院潘金莲| 精品一线二线三线无人区| 免费视频在线观看| 欧美精品亚洲精品日韩专| 午夜影院操一操亚洲无码| 久久精品人妻一区二区蜜桃| 好吊色视频在线观看播放|