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氣體傳感器在半導(dǎo)體制造工業(yè)中的應(yīng)用

日期:2025-07-08 17:15
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摘要: 以硅材料為主體的半導(dǎo)體工業(yè)中,涉及到種類繁多的氣體,實現(xiàn)氣相淀積、離子注入、等離子刻蝕、鈍化保護等工藝過程。 半導(dǎo)體工業(yè)中的**隱患主要是有毒氣體和腐蝕性氣體。其中,毒性較強的氣體包括鍺烷(GeH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)、氫化銻(SbH3)、三氟化磷(PH3)等,毒性較弱但具有刺激性的氣體包括氨氣(NH3)、硅烷(SiH4)、三氟化硼(BF3)、四氟化硫(SF4)等,具有強腐蝕性的氣體包括SiF4、HF等。 其中,用于硅及其化合物氣相淀積*常用的硅烷在室溫下濃度超過1%時在空氣中會發(fā)生自燃,容易引起火災(zāi);而...

以硅材料為主體的半導(dǎo)體工業(yè)中,涉及到種類繁多的氣體,實現(xiàn)氣相淀積、離子注入、等離子刻蝕、鈍化保護等工藝過程。

半導(dǎo)體工業(yè)中的**隱患主要是有毒氣體和腐蝕性氣體。其中,毒性較強的氣體包括鍺烷(GeH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)、氫化銻(SbH3)、三氟化磷(PH3)等,毒性較弱但具有刺激性的氣體包括氨氣(NH3)、硅烷(SiH4)、三氟化硼(BF3)、四氟化硫(SF4)等,具有強腐蝕性的氣體包括SiF4、HF等。

其中,用于硅及其化合物氣相淀積*常用的硅烷在室溫下濃度超過1%時在空氣中會發(fā)生自燃,容易引起火災(zāi);而用于外延、摻雜等工藝的磷烷、砷烷,則具有強烈的血溶性毒性,是和硅烷一起作為半導(dǎo)體工業(yè)中*主要的檢測氣體;在III-V族材料刻蝕中常常用到氯基的氣體,容易引起眼及上呼吸道刺激癥狀,一般報警點在8ppm左右;還有一些氣體,例如SF6,主要用于硅及其化合物的刻蝕,雖然純品無毒,但在高溫電弧作用下會分解成一系列有毒的氣體,包括SF4、S2F2、HF等,因此這些含硫或含氟的有毒氣體也是半導(dǎo)體工業(yè)中重點監(jiān)控的對象。


由于半導(dǎo)體工業(yè)中的危害性氣體種類繁多,每個半導(dǎo)體行業(yè)的工廠都會需要大量的氣體報警儀,目前該領(lǐng)域中應(yīng)用的氣敏元件絕大多數(shù)是電化學(xué)氣體傳感器。


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